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無線溫度記錄器

更新時(shí)間:2024-09-03

簡(jiǎn)要描述:

微型無線溫度記錄器光刻系統(tǒng)是制造芯片的核心裝備,其中溫度的檢測(cè)尤為重要,溫度會(huì)影響光刻膠流動(dòng),從而影響光刻的成品率。微型無線溫度記錄器體積微小,重量輕,攜帶方便。適用于曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等的溫度檢測(cè)記錄。
產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 體積微小、靈活通用;

2. 溫度準(zhǔn)確度小于10mK;

3. 采用無線通訊方式,響應(yīng)時(shí)間短,可連續(xù)工作時(shí)間超過10天。

產(chǎn)品尺寸

長(zhǎng)20mm×寬

型號(hào):RD3358點(diǎn)擊量:317

  免費(fèi)咨詢:86-021-59966206

  發(fā)郵件給我們:501630350@qq.com

無線溫度記錄器微型無線溫度記錄器

產(chǎn)品概述

光刻系統(tǒng)是制造芯片的核心裝備,其中溫度的檢測(cè)尤為重要,溫度會(huì)影響光刻膠流動(dòng),從而影響光刻的成品率。微型無線溫度記錄器體積微小,重量輕,攜帶方便。適用于曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等的溫度檢測(cè)記錄。

微型無線溫度記錄器產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 體積微小、靈活通用;

2. 溫度準(zhǔn)確度小于10mK;

3. 采用無線通訊方式,響應(yīng)時(shí)間短,可連續(xù)工作時(shí)間超過10天。

微型無線溫度記錄器主要參數(shù)

產(chǎn)品尺寸

長(zhǎng)20mm×寬20mm×厚10mm

溫度范圍

0 ~ 40℃

溫度準(zhǔn)確度

10mK(3σ)

重復(fù)測(cè)量準(zhǔn)確度

<5mK(3σ)

傳感器響應(yīng)時(shí)間

1s

采集頻率

Max.1Hz

連續(xù)工作時(shí)間

10days

通訊方式

Wifi

保修期

1年






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